実例紹介
各種事例のご案内
白金・Al 残渣除去、CMP後のスラリー除去
エッチング後の工程で白金残渣除去、Al残渣除去、研磨後のスラリー除去の処理例を紹介。…詳しく見る
ビアホール洗浄
ビアホールの洗浄例を紹介。微細な穴、溝の中も非接触で洗浄可能。…詳しく見る
接触角測定
ガラス表面の接触角測定の洗浄データ紹介。有機EL用の大型ガラス板の洗浄を紹介。…詳しく見る
切削粉除去
インラインで基板の切削粉除去の洗浄データ紹介。超高速処理で800枚/時を達成。…詳しく見る
水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較
超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、洗浄する水蒸気2流体洗浄と超音波/高圧洗浄との除去率比較（有機EL）…詳しく見る
蒸気2流体洗浄モジュール「コアモジュール」
ハンディタイプ新登場。蒸気・液体をピンポイントで超音速噴射。2つの衝撃波で微細な異物を除去。…詳しく見る
コロッケの種を混ぜる板
蒲鉾製造装置の板
