DEMO

蒸気2流体洗浄DEMO

✓洗浄可能サイズ：□300mm以下

✓洗浄例：油脂/塗料/フィルター/指紋/調合容器/ガラス

✓洗浄可能サイズ：12インチまで

✓洗浄例：レジスト残渣除去/リフトオフ/接着剤/有機物

✓洗浄可能サイズ：8インチまで（12インチは要相談）

✓オゾン水濃度150ppmまで可能

✓ドーズ量 ≧ 1E15以上の場合は要相談

顕微鏡：キーエンス製　デジタルマイクロスコープ VHX-7000

※初回のDEMOは無償、2回目以降より有償対応

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