蒸気2流体洗浄装置
蒸気2流体洗浄コアモジュール・蒸気洗浄装置のご案内

配線工程のリフトオフで金の回収率で95%以上でコスト低減
蒸気2流体洗浄装置
配線工程用|BEUGA(ビューガ)
「BEUGA(ビューガ)」は、金リフトオフ、レジスト剥離用、多連式音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。高価な薬液を使わないため、コスト低減に繋がるほか、金リフトオフ工程では95%以上の金回収率が可能です。原料は「純水のみ」で、化学薬品を削減できるため、コスト及び環境付加の低減にも貢献します。
製品情報
配線工程用洗浄装置|BEUGA(ビューガ)の基本情報
特長 | コスト低減(化学薬品削減) |
金回収率向上 > 95% | |
環境負荷低減 | |
基本構成 | 蒸気発生装置(SGM)SUS製 |
多連式超音速蒸気噴射ノズル | |
Front End Module(搬送系) | |
制御系 | |
蒸気・純水・ガス制御系 | |
排気・排水系 | |
仕様 | ウエハ口径:50-150mmΦ |
用 力:純水、N2(パージ用)、AC200V、100A×2 | |
蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa | |
本体外形寸法:1200(W)× 1500(D)×2200(H) | |
用途/実績例 | 対象アプリケーション ・金リフトオフ ・レジスト剥離 ・WAX・オイル除去 ・異物除去 |