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蒸気2流体洗浄装置

LED向けLift off用蒸気流体洗浄装置

配線工程用洗浄装置|BEUGA(ビューガ)

LEDデバイス向け / BEUGA(ビューガ)

金膜リフトオフで金の回収率98%以上~

有機溶剤がいらない

有機溶剤の代わりに蒸気を使うことで危険な薬品が不用

金膜の回収率が高い

汽水分離のタンクに全て沈殿され、フィルターで容易に回収可能

ランニングコストを大幅に削減

薬液の購入/保管/廃棄処理/メンテナンスが不要となるため処理(ランニング)コストを大幅に削減

製品情報

蒸気2流体洗浄装置|BEUGA(ビューガ)の基本情報

基本構成・性能 フロントエンドモジュール(EFEM):ウエハのロード/アンロード
蒸気発生モジュール(SUS製):純水を加熱(100~140℃)し蒸気を発生(~50kg/h×2)
蒸気2流体プロセスモジュール(SPM):レジスト上の金属膜(及びレジスト)を除去
超音速ノズル(幅50mm):蒸気+純水の2流体を超音速で噴射
汽水分離、及び金回収タンク:気体(蒸気排気)と液体(水排水)に分離、及び金回収機能
装置仕様 チャンバー数 SPM 2チャンバ
ウエハロ径 50/150mm対応
カセット数 2カセット
外形寸法 1300mmW×3100mmD×2250mmH
用力(8”用) 電源 3相、200VAC、430A
純水 0.3~0.4MPa、20L/min
N2 0.3~0.6MPa、20L/min
CDA 0.55MPa、400L/min
排気 10㎥/min
排水 20L/min

蒸気2流体洗浄装置/オゾン水洗浄装置

蒸気2流体洗浄コアモジュール・蒸気洗浄装置・低温レジスト剥離装置のご案内