蒸気2流体洗浄装置
蒸気2流体洗浄コアモジュール・蒸気洗浄装置のご案内
配線工程のリフトオフで金の回収率で95％以上でコスト低減
蒸気２流体洗浄装置
配線工程用｜BEUGA（ビューガ）
「BEUGA（ビューガ）」は、金リフトオフ、レジスト剥離用、多連式音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。高価な薬液を使わないため、コスト低減に繋がるほか、金リフトオフ工程では95％以上の金回収率が可能です。原料は「純水のみ」で、化学薬品を削減できるため、コスト及び環境付加の低減にも貢献します。
製品情報
配線工程用洗浄装置｜BEUGA（ビューガ）の基本情報
| 特長 | コスト低減（化学薬品削減） |
| 金回収率向上 > 95％ | |
| 環境負荷低減 | |
| 基本構成 | 蒸気発生装置（SGM）SUS製 |
| 多連式超音速蒸気噴射ノズル | |
| Front End Module（搬送系） | |
| 制御系 | |
| 蒸気・純水・ガス制御系 | |
| 排気・排水系 | |
| 仕様 | ウエハ口径：50-150mmΦ |
| 用 力：純水、N2（パージ用）、AC200V、100A×2 | |
| 蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa | |
| 本体外形寸法：1200（W）× 1500（D）×2200（H） | |
| 用途／実績例 | 対象アプリケーション ・金リフトオフ ・レジスト剥離 ・WAX・オイル除去 ・異物除去 |
蒸気2流体洗浄装置/オゾン水洗浄装置
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