蒸気2流体洗浄装置

蒸気2流体洗浄コアモジュール・蒸気洗浄装置のご案内

配線工程用洗浄装置|BEUGA(ビューガ)

配線工程のリフトオフで金の回収率で95%以上でコスト低減

蒸気2流体洗浄装置

配線工程用|BEUGA(ビューガ)

「BEUGA(ビューガ)」は、金リフトオフ、レジスト剥離用、多連式音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。高価な薬液を使わないため、コスト低減に繋がるほか、金リフトオフ工程では95%以上の金回収率が可能です。原料は「純水のみ」で、化学薬品を削減できるため、コスト及び環境付加の低減にも貢献します。

製品情報

配線工程用洗浄装置|BEUGA(ビューガ)の基本情報

特長コスト低減(化学薬品削減)
金回収率向上 > 95%
環境負荷低減
基本構成蒸気発生装置(SGM)SUS製
多連式超音速蒸気噴射ノズル
Front End Module(搬送系)
制御系
蒸気・純水・ガス制御系
排気・排水系
仕様ウエハ口径:50-150mmΦ
用 力:純水、N2(パージ用)、AC200V、100A×2
蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa
本体外形寸法:1200(W)× 1500(D)×2200(H)
用途/実績例対象アプリケーション
・金リフトオフ
・レジスト剥離
・WAX・オイル除去
・異物除去

蒸気2流体洗浄装置/オゾン水洗浄装置

蒸気2流体洗浄コアモジュール・蒸気洗浄装置・低温レジスト剥離装置のご案内

蒸気2流体洗浄

「Handy Type HSJ-10DI」

蒸気2流体洗浄装置

「ASTE(アステ)」

高濃度オゾン水洗浄装置

「AURORA(オーロラ)」