太陽電池用シリコン基板の切削粉除去の洗浄データ。超高速処理で800枚/時を達成。
事例紹介「切削粉除去」
【太陽電池】シリコン基板の切削粉除去
除去性能比較（接着力強度依存）
異物除去性能を比較
客先に於いて、シリコン上に付着した異物の除去性能を他の物理洗浄技術と比較したデータです。 蒸気2流体の除去性能はブラシ炎上と同等で、特長はワークに対して非接触で且つ、微細な穴及び溝の中の異物も除去できます。
製品情報
蒸気2流体洗浄ユニット｜SSCシリーズの基本情報
| 特長 | ブラシ等の消耗品がなく、ランニングコストを大幅に低減 |
| 使用するのは「純水」のみ | |
| 化学薬品の使用量を大幅に削減 | |
| 洗浄力を大幅に向上 | |
| 半導体用洗浄にも使用 | |
| 基本構成 | 金属汚染のない蒸気発生装置 |
| 超音速蒸気噴射ノズル | |
| 洗浄機本体との通信 | |
| 蒸気発生装置 | 蒸気発生量：2～100kg/h ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 |
| 用力：DIW,N2,CDA,200VACまたは100VAC | |
| 蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa | |
| 用途／実績例 | 【用途】 ・太陽電池の基板洗浄 ・LED製造における金膜剥離 ・半導体製造工程 ・ガラス基板の洗浄等 ・異物・ポリマー除去 ・油脂、指紋など除去 ・医療への応用 ・美容への応用 |