オゾン水洗浄装置
低温レジスト剥離装置のご案内
硫酸、有機溶剤などの危険な化学薬品をなくすことを可能にした
高濃度オゾン水洗浄装置
低温レジスト除去装置｜AURORA（オーロラ）
『AURORA（オーロラ）』は、イオン注入後のレジスト剥離が低温で出来るレジスト剥離装置です。プラズマ処理（硬化層除去）とオゾン水処理（レジスト剥離）を組み合わせることで残渣なしで剥離できるほか、下地膜（Si、SiO2など）のダメージなしでの剥離にも対応します。また、硫酸過水、アンモニア過水等の薬液をなくすことで、ランニングコストおよび工程数を削除。速い除去レート(2～4μm/min)により高いスループットが達成できます。
製品情報
高濃度オゾン水洗浄装置｜AURORA（オーロラ）の基本情報
| 特長 | 剥離性能 |
| コスト低減 | |
| 工程数削減 | |
| 設置面積削減 | |
| 基本構成 | 搬送ロボット |
| プラズマ処理装置 | |
| オゾン水処理装置 | |
| 高濃度オゾン水発生装置 | |
| 加熱ユニット | |
| 仕様 | チャンバ数：2チャンバ（プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ） |
| ウエハ口径：150, 200, 300mm対応 | |
| カセット数：2カセット | |
| 用 力：DIW、N2、O2、CO2、CDA | |
| 本体外形寸法：1100（W）× 2050（D）× 2000（H） | |
| 用途／実績例 | 対象アプリケーション ・イオン注入後のレジスト剥離 |
蒸気2流体洗浄装置/オゾン水洗浄装置
蒸気2流体洗浄コアモジュール・蒸気洗浄装置・低温レジスト剥離装置のご案内
蒸気2流体洗浄コアモジュール
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