蒸気2流体洗浄装置
蒸気2流体洗浄コアモジュール・蒸気洗浄装置のご案内
金属汚染のない洗浄装置。単式蒸気2流体超音速噴射ノズル搭載
蒸気２流体洗浄装置
精密洗浄装置｜ASTE（アステ）
「ASTE（アステ）」は、エッチング後のポリマ除去や、ウエハ上の異物除去 （ブラシスクラバの置換え）が出来る、金属汚染のない蒸気2流体洗浄装置です。高価なアミン系剥離剤等の薬液を使わずにポリマとレジストを同時に除去できるので大幅なコスト低減が期待できます。原料は「水」なので、環境にやさしい洗浄装置です。
製品情報
半導体用洗浄装置｜ASTE（アステ）の基本情報
| 特長 | コスト低減（化学薬品削減） |
| 工程数削減 | |
| 環境負荷低減 | |
| 基本構成 | 金属汚染のない蒸気発生装置 |
| 超音速蒸気噴射ノズル | |
| アルキメデス制御方式 | |
| Front End Module（搬送系） | |
| 制御系 | |
| 蒸気・超純水・ガス制御系 | |
| 排気・排水系 | |
| 仕様 | チャンバ数：2チャンバ |
| ウエハ口径：150,200,300mm対応 | |
| カセット数：2カセット | |
| 用 力：超純水、N2、CDA（駆動用）、AC200V、100A | |
| 蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa | |
| 本体外形寸法：1100（W）× 1800（D）× 2000（H） | |
| 用途／実績例 | 対象アプリケーション ・エッチング後のポリマ除去 ・ウエハ上の異物除去（ブラシスクラバの置換え） ・リフトオフ ・接着剤除去 |
蒸気2流体洗浄装置/オゾン水洗浄装置
蒸気2流体洗浄コアモジュール・蒸気洗浄装置・低温レジスト剥離装置のご案内
蒸気2流体洗浄コアモジュール
「SSCシリーズ」
蒸気2流体洗浄
「Handy Type HSJ-10DI」
太陽電池用、蒸気2流体洗浄装置
「VALIUS（バリウス）」
リフトオフ用、蒸気2流体洗浄装置
「BEUGA（ビューガ）」
高濃度オゾン水洗浄装置
「AURORA（オーロラ）」