ハンディタイプ新登場。蒸気・液体をピンポイントで超音速噴射。2つの衝撃波で微細な異物を除去。
蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』
コアモジュール(SGM+ノズル)
![コアモジュール(SGM+ノズル) コアモジュール(SGM+ノズル)](https://hugpower.co.jp/wp-content/uploads/2022/12/product-001.jpg)
蒸気2流体洗浄モジュール|コアモジュール
基本的なコアモジュールは超音速ノズルと蒸気発生装置(SGM)から構成されています。 洗浄の対象物と必要な処理能力に応じてノズルの大きさ(噴射幅)とSGMの容量を選定し最適な組み合わせにすることが出来ます。 また、半導体では金属汚染及びパーティクルの低減が求められますので材質及び構成を変える等を変更することで対応できます。
※ハンディタイプが誕生しました。
ガンタイプですので、どこにでも持ち運びOK
狭い場所での作業や、パーツを動かすことなく作業する事が可能になります!
製品情報
半導体業界から生まれた新技術
基本構成
資料の掲載内容(抜粋)
蒸気発生装置モデル | ||||
最大生成蒸気量 | ||||
接液部構成材料 | ||||
配管・継ぎ手 | ||||
給水ポンプ | ||||
ヒーター制御 | ||||
制御系・通信 | ||||
寸法 | 942(D) 1250(H) | 950(D) 1510(H) | 705(D) 1390(H) | 500 920 |
重量 | ||||
低格電圧 | ||||
ヒーター容量 |