DEMO
蒸気2流体洗浄DEMO・高濃度オゾン水洗浄DEMOのご案内
蒸気2流体洗浄DEMO
一般産業洗浄
✓洗浄可能サイズ：□300mm以下
✓洗浄例：油脂/塗料/フィルター/指紋/調合容器/ガラス
半導体洗浄
✓洗浄可能サイズ：12インチまで
✓洗浄例：レジスト残渣除去/リフトオフ/接着剤/有機物
高濃度オゾン水洗浄DEMO
✓洗浄可能サイズ：8インチまで（12インチは要相談）
✓オゾン水濃度150ppmまで可能
✓ドーズ量 ≧ 1E15以上の場合は要相談
測定器
- 顕微鏡：キーエンス製 デジタルマイクロスコープ VHX-7000
※初回のDEMOは無償、2回目以降より有償対応
DEMOについてはお問合せフォームよりご連絡ください。