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HUGパワー｜蒸気洗浄・蒸気2流体・レジスト剥離

【製品情報】

・製品情報/事例紹介

【蒸気2流体洗浄装置】

・蒸気2流体洗浄装置「ASTE」
・蒸気2流体洗浄「Handy Type HSJ-10DI」
・太陽電池用、蒸気2流体洗浄装置「VALIUS」
・リフトオフ用、蒸気2流体洗浄装置「BEUGA」
・蒸気2流体洗浄コアモジュール「SSCシリーズ」

【オゾン水洗浄装置】

・高濃度オゾン水洗浄装置「AURORA」

【事例紹介】

・接触角測定
・切削粉除去
・ビアホール洗浄
・白金・Al 残渣除去、CMP後のスラリー除去
・蒸気2流体洗浄モジュール「コアモジュール」
・水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較

HUGパワー｜蒸気洗浄・蒸気2流体・レジスト剥離

HUGパワー株式会社

〒226-8501
神奈川県横浜市緑区長津田町4259番
東京工業大学 J3棟409
電話番号：045-465-6363
営業時間：平日9：00～18：00

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