蒸気2流体洗浄装置
LED向けLift off用蒸気流体洗浄装置
![蒸気2流体洗浄装置BEUGA(ビューガ) 配線工程用洗浄装置|BEUGA(ビューガ)](https://hugpower.co.jp/wp-content/uploads/2023/08/abeuga.png)
LEDデバイス向け / BEUGA(ビューガ)
金膜リフトオフで金の回収率98%以上~
有機溶剤がいらない
有機溶剤の代わりに蒸気を使うことで危険な薬品が不用
金膜の回収率が高い
汽水分離のタンクに全て沈殿され、フィルターで容易に回収可能
ランニングコストを大幅に削減
薬液の購入/保管/廃棄処理/メンテナンスが不要となるため処理(ランニング)コストを大幅に削減
製品情報
蒸気2流体洗浄装置|BEUGA(ビューガ)の基本情報
基本構成・性能 | フロントエンドモジュール(EFEM):ウエハのロード/アンロード | |
蒸気発生モジュール(SUS製):純水を加熱(100~140℃)し蒸気を発生(~50kg/h×2) | ||
蒸気2流体プロセスモジュール(SPM):レジスト上の金属膜(及びレジスト)を除去 | ||
超音速ノズル(幅50mm):蒸気+純水の2流体を超音速で噴射 | ||
汽水分離、及び金回収タンク:気体(蒸気排気)と液体(水排水)に分離、及び金回収機能 | ||
装置仕様 | チャンバー数 | SPM 2チャンバ |
ウエハロ径 | 50/150mm対応 | |
カセット数 | 2カセット | |
外形寸法 | 1300mmW×3100mmD×2250mmH | |
用力(8”用) | 電源 | 3相、200VAC、430A |
純水 | 0.3~0.4MPa、20L/min | |
N2 | 0.3~0.6MPa、20L/min | |
CDA | 0.55MPa、400L/min | |
排気 | 10㎥/min | |
排水 | 20L/min |