蒸気2流体洗浄装置
蒸気2流体洗浄コアモジュール・蒸気洗浄装置のご案内
レジスト・ペースト除去ができる太陽電池用の洗浄装置。超高速処理が特長
蒸気２流体洗浄装置
太陽電池用洗浄装置｜VALIUS（バリウス）
「VALIUS（バリウス）」は、レジスト・ペースト除去が出来る、多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、コンパクトな設置面積（本体）を実現しています。連続処理で500枚／時以上の超高速処理が可能。原料は「純水のみ」なので化学薬品の使用量を大幅に低減することができる環境にやさしい装置です。
製品情報
太陽電池用洗浄装置｜VALIUS（バリウス）の基本情報
| 特長 | コスト低減（化学薬品削減） |
| コンパクト設計 | |
| 超高速処理能力 > 500枚／時 | |
| 環境負荷低減 | |
| 洗浄槽 | |
| 基本構成 | 蒸気発生装置（SGM）SUS製 |
| 多連式超音速蒸気噴射ノズル | |
| エアーナイフ・温風乾燥 | |
| 搬送系（マグネットローラー方式） | |
| 制御系 | |
| 蒸気・純水・ガス制御系 | |
| 排気・排水系 | |
| 仕様 | 基板サイズ：126-156mm角対応 |
| 用 力：純水、N2（パージ用）、AC200V、200A | |
| 蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa | |
| 本体外形寸法：2200（W）× 850（D）× 1500（H） | |
| 用途／実績例 | 【対象アプリケーション】 ・レジスト・ペースト除去 |
